什么是無塵室？無塵室的分類

1. 亂流式(Turbulent Flow)：空氣由空調(diào)機箱經(jīng)風管和潔凈室內(nèi)的空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由潔凈室內(nèi)的回風柱或高架地板回風。氣流是呈不規(guī)則的亂流或渦流狀態(tài)。此型式適合于潔凈室等級為：1,000-100,000級。


優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本比較低，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所需提高潔凈等級，可結(jié)合潔凈工作臺來提高潔凈室等級。


缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，欲達需求的潔凈度，往往須相當長一段時間。


2.層流式(Laminar)：　空氣氣流運動成一均勻的直線形，空氣由覆蓋率的過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)回風柱回風，此型式適合于級別比較高的潔凈室，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：


(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴重。優(yōu)點：構(gòu)造簡單，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點：建造費用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴充。


（2）垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。優(yōu)點：管理容易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點：構(gòu)造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。


3.復合式(Mixed Type)：　復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式