什么是無塵室？無塵室的分類

1. 亂流式(Turbulent Flow)：空氣由空調機箱經風管和潔凈室內的空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由潔凈室內的回風柱或高架地板回風。氣流是呈不規則的亂流或渦流狀態。此型式適合于潔凈室等級為：1,000-100,000級。


優點：構造簡單、系統建造成本比較低，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所需提高潔凈等級，可結合潔凈工作臺來提高潔凈室等級。


缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求的潔凈度，往往須相當長一段時間。


2.層流式(Laminar)：　空氣氣流運動成一均勻的直線形，空氣由覆蓋率的過濾器進入室內，并由高架地板或兩側回風柱回風，此型式適合于級別比較高的潔凈室，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：


(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。


（2）垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。


3.復合式(Mixed Type)：　復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式